Introdução às Microtecnologias no Silício

A actual tendência na Europa é estimular ainvestigação e o desenvolvimento nas áreasdas micro/nano tecnologias e dosmicro/nano sistemas no silício, de forma aacompanhar o ritmo dos mercados americanoe japonês. Estas tecnologias formama base de uma nova geração de produtos,novas técnicas de fabrico e novas oportunidadesde negócio. As micro/nano tecnologiasestão a crescer exponencialmente,segundo dados da Comunidade Europeia, aque não é estranho o investimento feito eminfra-estruturas.
A microelectrónica (com destaque para a tecnologia CMOS) e amicromaquinagem, novas tecnologias de base, são um factor decompetitividade e de renovação tecnológica, em quase todos os sectoresindustriais.
Este livro destina-se a servir de texto de apoio às unidadescurriculares de cursos do ensino superior de Engenharia dasUniversidades e Institutos Superiores de Engenharia (abrangendo ofinal do 1º ciclo, 2º ciclo e 3º ciclo). Mais, pro-fissionais da área dossemicondutores e dos dispositivos biomédicos terão disponível umlivro de base para consulta, com um capítulo dedicado às Aplicaçõesindustriais e biomé-dicas.
Pretende-se que os alunos e profissionais com interesse na áreaadquiram os conhecimentos, métodos, técnicas e acções de microengenhariaque permita perceber: a Física dos semicondutores comênfase no silício, a microelectrónica com destaque para o processo defabrico em tecnologia CMOS e as técnicas de micromaquinagem dosilício para a criação de microssensores e microactuadores, comdestaque para as aplicações biomédicas. No fim de cada capítuloapresentam-se os enunciados de alguns problemas, seleccionados demodo a exemplificar os pontos fundamentais tratados nesse capítulo.